Elipsometri, polarize ışık kullanarak numunenin dielektrik özelliklerini bildiren bir yöntemdir. Polarize ışık numunenin yüzeyine düşer ve incelenen sistemle ilgili optik etkileşimleri sağlar. Etkileşim, bilinen polariteye ve gerekli geliş açısına sahip ışığı etkiler. Sistemde optik değişiklikler olduğu için sistem ışığın polaritesini etkiler. Bu nedenle, ışığın katmanlar boyunca yansıması veya kırılması ile sonuçlanır.
