Cihaz TESCAN MIRA3 XMU marka ve model olup, alan emisyonlu tabancaya (Field Emission Gun) sahiptir. Cihaz hem düşük hem
de yüksek vakumda çalışabilmektedir. Düşük vakum için özel
LVSTD patentli yüksek çözünürlüklü ikincil elektron dedektörü
ile kaplamasız analiz yapma imkanı vardır. Cihazda hem ikincil
elektron hem de geri saçınımlı elektron modunda yüksek vakumda inceleme yapılabilmektedir.
Cihazın 10 mm analitik mesafede elementel analiz (EDS) dedektörü bulunmaktadır. Cihaz 6 mm-90 mm arasında ikincil
elektron görüntülemesi ve 2-20 mm aralığında BSE incelemesi yapabilmektedir. Cihaz üzerinde 7 adet 1.3 cm çapında
alüminyum altlık alabilen dönel tabla bulunmaktadır. Numune
tablaları uzun, kalın ve şekilsiz numuneler için 4 farklı çeşit üretilmiştir. 10 cm yüksekliğe kadar numuneler koyulabilmektedir.
Cihazda ayrıca S-TEM aparatı bulunmakta olup en yüksek voltaj
olan 30 kV’de 1-2 mm çalışma mesafesinde 1 nm ayırma gücüne sahiptir. Işın şiddeti 1 seviyesinde optimum kolon koşullanmasında ve minimum vakumda (10-3 Pa) ayırma gücü
1 nm’den daha küçük elde edilebilir, fakat numune
özelliklerine çok bağlıdır. Cihaz 1 rotary forepump ve
1 adet turbo moleküler pompa ile destekli şekilde
yaklaşık 5 dk’da vakum alabilmektedir fakat numune
boyutu ve gözenekliliğe göre değişkenlik gösterebilir.
Cihaz biyolojik numuneleri görüntülemek için CO2 kritik nokta kurutucusuna ve takiben Au-Pd kaplama
ünitesine sahiptir. Dokuların bozulmadan kalması için
ayrıca -59 ile +70 aralığında Peltier üniteye sahiptir ve
istendiğinde soğutma ünitesi takılarak LVSTD modda
çalışmalar yapılabilir. Oldukça geniş bir kullanım yelpazesine sahiptir
Uygulama:
KULLANIM ALANLARI
- İnşaat malzemeleri-klinker, toz, gözeneklilik, tuğla, pişme, hidratasyon…
- Metal ve alaşımlar-döküm, toz, kaynak, difüzyon…
- Seramik-toz, yığın, sinter, gözenek, kırık yüzeyleri, sertlik izleri, çatlaklar…
- Kompozitler-fiber arayüzeyi, polimer yapışma, kırık ve çatlaklar…
- Polimer-yüzey, pürüzlülük, absorbsiyon metal varlığı…
- Makine parçalarının yüzey ve hasar analizleri…
