Tarayıcı: - Ayrılmış XY ve Z tarayıcı; XY tarayıcıların tarama aralığı: 50 µm - Z tarayıcıların tarama aralığı: 12 µm Ölçülebilir numune boyutu: 80 mm × 80 mm, 20 mm kalınlık ve 500 g'a kadar
