Üretilen karakteristik X-ışınlarının dalgaboyu Kα1=0.154059 nm ve gücü 9 kW
Su Soğutmalı Cu döner anot,
Değişken Tüp voltaj- akım: 10-45 kV;20-200 mA
Ge (220)x4 bounce monokromatör
Uygulama:
Malzemelerin kristal yapısı, film kalınlığı,
Epitaksiyel ince film ölçümleri
Haritalama
